2021年6月15日 / 最終更新日 : 2021年6月21日 wired

SUSへの狭ピッチ（貫通穴）加工事例 入射面（顕微鏡倍率：×500）

SUSへの狭ピッチ（貫通穴）加工事例 入射面（顕微鏡倍率：×500）

SUSへの狭ピッチ（貫通穴）加工事例 入射面（顕微鏡倍率：×500）
出射径8μｍ、ピッチ60μm