枚葉レーザー加工機によるチタン（Ti箔）への貫通穴加工事例

チタンは、一般の合金鋼と同等の強度を持ち、鉄よりも軽く、ステンレス鋼・アルミニウムよりも圧倒的に耐食性に優れ、500℃の高温でも有効な強度を保つ耐熱性を備えているといわれています。
今回、枚葉レーザー加工機による12μｍ厚のチタン（Ti）箔へΦ45μｍ、ピッチ500μｍ（並列型）、開口率0.6％のレーザー貫通穴加工を行いました。