SUSへの狭ピッチ加工事例

SUSへの狭ピッチ加工事例の紹介です。
SUS 0.02ｍｍへ出射径８μｍ（入射径約20μｍ）、ピッチ60μｍの貫通穴加工を行いました。
目視レベルでは、歪みは確認できまでんでした。